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    ES612 ESD測試儀 晶圓芯片級 HBM, HMM, MM

    ES612 ESD測試儀 晶圓芯片級 HBM, HMM, MM

    型號:ES612-20K

    產品時間:2023-11-13

    簡要描述:

    ES612 ESD 測試儀 (HBM, HMM, MM)
    ES612 ESD測試儀是2管腳測試儀,為晶圓、封裝、PCB和系統級ESD測試而設計。該測試儀的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相關ESD標準。測試儀上的DC特性測試端口,可搭配數字源表等DC測試設備,較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進行應用擴展,也可用作器件質檢規范流程的一步。

    推薦產品
    詳細介紹

    ES612 ESD 測試儀 (HBM, HMM, MM)

    ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀,為晶圓、封裝、PCB和系統級ESD測試而設計。該測試儀的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相關ESD標準。測試儀上的DC特性測試端口,可搭配數字源表等DC測試設備,較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進行應用擴展,也可用作器件質檢規范流程的一步。

    ES612 ESD測試儀的脈沖源設計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現。該設備內置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形,為數據分析提供可靠依據。此外,電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進行抓取。由于該設備還可擴展進行ESD波形注入前后的DC特性檢測,因此可進行ESD事件的損傷判定。

    特點

    • 低寄生參數,高質量脈沖

    • 可定制,可擴展

    • 可搭配探針臺進行晶圓級測試

    • 外置可選配的自動故障檢測模塊

    • 觸摸控制面板

    • 可固件升級

    • 可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件

    • 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
       

    ES612 ESD測試儀是一款2管腳測試儀,為晶圓、封裝、PCB和系統級ESD測試而設計。該測試儀的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相關ESD標準。測試儀上的DC特性測試端口,可搭配數字源表等DC測試設備,較為輕松的幫助確定ESD損傷閾值。ES612 ESD測試儀可搭配多管腳自動化測試儀進行應用擴展,也可用作器件質檢規范流程的一步。

    ES612 ESD測試儀的脈沖源設計和注入方法能夠確保被測器件端的波形表現。該設備內置的電流探頭自動抓取脈沖注入時的波形,為數據分析提供可靠依據。此外,電壓波形也可通過選配的電壓探頭連接示波器進行抓取。由于該設備還可擴展進行ESD波形注入前后的DC特性檢測,因此可進行ESD事件的損傷判定。
     

     

    • 低寄生參數,具有高質量脈沖
    • 可定制,可擴展
    • 可搭配探針臺進行晶圓級測試
    • 外置可選配的自動故障檢測模塊
    • 觸摸控制面板
    • 可固件升級
    • 可選配的自動化脈沖注入和故障測量軟件
    • 可選配的脈沖IV和DC IV表征功能
       
    • 用于晶圓、封裝、PCB和系統級器件的通用ESD測試
    • HBM模塊符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
    • HMM模塊符合ANSI / ESD SP5.6-2009
    • MM模塊符合ANSI / ESD STM5.2-2012
       
    • ES612 控制主機

      參數ES612-2KES612-8KES612-12KES612-20K單位
      輸出電壓± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
      小輸出電壓步長1V (500V以內)

       

      10V (2 kV以內)

      1V (500V以內)

       

      10V (8 kV以內)

      1V (500V以內)

       

      10V (12 kV以內)

      1V (500V以內)

       

      10V (20 kV以內)

      V,

       

      kV

      輸出電壓精度 ± 1 % 或 ± 5 V%
      尺寸347 X 300 X 145mm
      重量5667kg
      電壓、電流測量電壓、電流測量無源探頭
      支持的示波器Keysight, Tektronix,Lecory主流型號示波器
      支持的SMUKeithley 24xx/26xx 系列

      外置人體模型(HBM )波形發生模塊

      參數HBM-2KHBM -8KHBM -12KHBM -20K單位
      輸出電壓± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
      放電RC值C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% 
      短路峰值電流Ips0.67A ± 10 % per kVns
      短負荷上升時間Trs2 < Trs < 10ns
      短負荷衰減時間Tds1300 < Tds < 1700ns
      短負荷振鈴Irs< 15% of Ips 
      500Ω負載峰值電流IprIpr/Ips ≥ 63% 
      500Ω負載上升時間Trr5 < Trr < 25ns

      外置人體-金屬模型(HMM )波形發生模塊

      (根據ANSI/ESD SP5.6-2009)

      參數HMM-24K單位備注
      HMM峰值電流90A3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %

       

      IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

      HMM電流@ 30 ns48A≤ ± 10 % (優于IEC標準的 ±30%  )
      HMM電流@ 60 ns24A≤ ± 10 % (優于IEC標準的 ±30%  )
       
      編號型號描述
       ES612 ESD測試儀
      1.1ES612ES612 ESD 測試儀控制主機, 大輸出電壓 8 kV / 20 kV,

       

      RS232 SCPI 通訊端口

      1.2ES612-HBM人體模型波形發生模塊(2管腳)
      1.3ES612-HMM人體-金屬模型波形發生模塊(2管腳)
      1.4ES612-MM機器模型波形發生模塊(2管腳)
      其他配件選項
      2.1ES62x-PC-HBM電腦(預裝脈沖及失效等級自動檢測軟件)
      2.2KSMU2400數字源表, 200V, 1A, 20W, 單通道(用于被測器件DC損傷檢測)
      2.3ES62X-CMPS簡易手動探針臺
      2.4ES62X-XYZM-TIMXYZ 微動探針座 – XYZ 行程500 mils,步進0.01mm
      2.5ES62X-XYZM-PAAPCB 探針臂套件,配備電壓測量探頭
      2.6ES62X-XYZM-GAA接地探針臂套件
      2.7HBM-TC0.30.3 mm Pitch Test Clip
      2.8HBM-TC2.52.54 mm Pitch Test Clip
      2.9ES62X-XYZM-PP048048 型號彈簧探針
      2.10ES62X-XYZM-PP075075 型號彈簧探針
      2.11ES62X-XYZM-TN1鎢鋼針

     


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